Çankaya GCRIS Standart veritabanının içerik oluşturulması ve kurulumu Research Ecosystems (https://www.researchecosystems.com) tarafından devam etmektedir. Bu süreçte gördüğünüz verilerde eksikler olabilir.

Mühendislik Fakültesi

Permanent URI for this communityhttps://hdl.handle.net/20.500.12416/2

Browse

Browsing Mühendislik Fakültesi by Author "104090"

Filter results by typing the first few letters
Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Article
    Citation Count: YILDIRIM, E., AKIN, T., ARIKAN, M.A.S., (2012). MEMS Malzeme karakterizasyonu için bütünleşik bir elektrostatik mikro bükülme test yapısı tasarımı ve gerçekleştirilmesi. Çankaya University Journal of Science and Engineering, Volume 9 (2012), No. 1, pp.9–23
    MEMS Malzeme karakterizasyonu için bütünleşik bir elektrostatik mikro bükülme test yapısı tasarımı ve gerçekleştirilmesi
    (Çankaya Üniversitesi, 2012) Yıldırım, Ender; Akın, Tayfun; Arıkan, M. A. Sahir; 31835; 104090; 163987
    Mikro elektromekanik sistemlerde kullanılan malzemelerin mekanik özelliklerinin, üretim yöntemleri nedeniyle, mikro boyuttaki test yapılarıyla tespit edilmesi gerekmektedir. Bu çalışmada, eyleyici, test numunesi ve ölçüm skalası tek bir yonga üzerinde bütünleşik olarak üretilmiş bir mikro bükülme test yapısı sunulmaktadır. Tüm bileşenlerin bütünleşik olarak üretilmiş olması, benzer sistemlerde gözlenen hizalama problemini ortadan kaldırmaktadır. Yapı, iki uçtan ankastre mesnetli bir test kirişinin orta noktasından tarak tipi bir elektrostatik eyleyici ile çekilmesi esasına dayanmaktadır. Bükülme miktarı, ölçüm skalası üzerinden, görüntü işleme yöntemleri kullanılarak tespit edilmektedir. Tasarlanan yapılar yalıtkan-üzeri-silisyum pullar kullanılarak üretilmiştir. Testler sonucunda, literatürde belirtilen sonuçlarla uyumlu olarak, silisyum elastik modülü 136 GPa olarak belirlenmiştir